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      原子力顯微鏡AFM檢測(cè)服務(wù)

      成像模式:1、接觸模式:針尖與樣品表面距離小,利用原子間的斥力;可獲得高解析度圖像;樣品變形,針尖受損;不適合于表面柔軟的材料;2、非接觸模式:針尖距離樣品5-20nm,利用原子間的吸引力,不損傷樣品表面,可測(cè)試表面柔軟樣品;分辨率低,有誤判現(xiàn)象;3、輕敲模式:探針在z軸維持固定頻率振動(dòng),當(dāng)振動(dòng)到谷底時(shí)與樣品接觸,對(duì)樣品破壞小,分辨率幾乎同接觸模式相同。
      測(cè)試項(xiàng)目:a.粉末,溶液,塊狀樣品的表面形貌,厚度,粗糙度測(cè)試b.生物/纖維樣品的表面形貌c.相圖d.pfm(壓電力顯微鏡), efm(靜電力顯微鏡), kpfm(表面電勢(shì)), mfm(磁力顯微鏡), c-afm/peakforce tuna(導(dǎo)電力顯微鏡),楊氏模量/模量分布,力曲線,液下,變溫等特殊模式。
      1、表面形貌和表面粗糙度:afm可以對(duì)樣品表面形態(tài)、納米結(jié)構(gòu)、鏈構(gòu)象等方面進(jìn)行研究,獲得納米顆粒尺寸,孔徑,材料表面粗糙度,材料表面缺陷等信息,同時(shí)還能做表面結(jié)構(gòu)形貌跟蹤(隨時(shí)間,溫度等條件變化)。也可對(duì)樣品的形貌進(jìn)行豐富的三維模擬顯示,使圖像更適合于人的直觀視覺(jué)。
      2、精準(zhǔn)定位如:納米片厚度/臺(tái)階高度:什么是精準(zhǔn)定位?就是需要花時(shí)間去一點(diǎn)點(diǎn)找這個(gè)地方。在半導(dǎo)體加工過(guò)程中通常需要測(cè)量高縱比結(jié)構(gòu),像溝槽和臺(tái)階,以確定刻蝕的深度和寬度。這些在sem 下只有將樣品沿截面切開(kāi)才能測(cè)量,afm 可以對(duì)其進(jìn)行無(wú)損的測(cè)量。afm在垂直方向的分辨率約為0.1 nm,因此可以很好的用于表征納米片厚度。
      3、相圖:作為輕敲模式的一項(xiàng)重要的擴(kuò)展技術(shù),相位模式是通過(guò)檢測(cè)驅(qū)動(dòng)微懸臂探針振動(dòng)的信號(hào)源的相位角與微懸臂探針實(shí)際振動(dòng)的相位角之差(即兩者的相移)的變化來(lái)成像。引起該相移的因素很多,如樣品的組分、硬度、粘彈性質(zhì),模量等。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),如果兩種材料從afm形貌上來(lái)說(shuō),對(duì)比度比較小,但你又非常想說(shuō)明這是在什么膜上長(zhǎng)的另外一種,這個(gè)時(shí)候可以利用二維形貌圖+相圖來(lái)說(shuō)明(前提是兩種材料的物理特性較為不同,相圖有明顯對(duì)比信號(hào)才行)。

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